真空泵的介绍

输运式泵又可细分为机械式气体输运泵和气流式气体输运泵。旋转式机械真空泵、罗茨泵以及涡轮分子泵是机械式气体运输泵的典型例子，而油扩散泵则属于气流式气体运输泵。捕获式真空泵包括低温吸附泵、溅射离子泵等。